Модель заряда тонких полимерных пленок пучком электронов с энергией 80 кэВ

Авторы

Пашенцев В. Н.

Аннотация

Модель заряда тонкой диэлектрической пленки электронным пучком основана на рассмотрении баланса токов внутри диэлектрика: тока заряда диэлектрика в результате поглощения падающих электронов пучка и тока разряда объемного заряда накопленных электронов под действие электрического поля этого заряда. Разряд диэлектрика облегчается тем, что радиационная электропроводность диэлектрика во время электронного облучения возрастает на несколько порядков по сравнению проводимостью диэлектрика до облучения. В работе приведены оценочные расчеты напряженности электрического поля в диэлектрике, который заряжается импульсным электронным пучком с энергией 80 кэВ, средней плотностью тока 0,1 мкА/см2 и мощностью дозы 670 Гр/с. Процесс заряда диэлектрика зависит от соотношения пробега электрона и толщины пленки, радиационной электропроводности, мощности дозы облучения и вторичной электронной эмиссии с поверхности пленки.

Ключевые слова:

полимерные пленки; электронный пучок; радиационная электропроводность; заряд диэлектрика; электрический пробой

Скачать статью