Анализ влияния конструктивных параметров на характеристики микроопто-электромеханического преобразователя угловых скоростей

Авторы

Бусурин В. И.^*, Фам А. Т.^**, Ахламов П. С.^***

Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет), Волоколамское шоссе, 4, Москва, A-80, ГСП-3, 125993, Россия

*e-mail: vbusurin@mai.ru
**e-mail: phamanhtuanlqd@gmail.com
***e-mail: pakhlamov@hotmail.com

Аннотация

Предложена уточненная математическая модель микроопто-электромеханического преобразователя угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта, обеспечивающая большую чувствительность при малой погрешности измерения, и определена функция преобразования по уточненной математической модели. Рассмотрено влияние конструктивных параметров воспринимающего пьезоэлемента на характеристики уточненной математической модели преобразователя угловых скоростей. Проведена оценка дополнительной температурной погрешности преобразователя во всем рабочем диапазоне измерения.

Ключевые слова

преобразователь, угловая скорость, оптическое туннелирование, отражательная способность, погрешность, температура

Библиографический список

1. Браславский Д.А. Приборы и датчики летательных аппаратов. М.: Машиностроение, 1970. — 392 с.

2. Бусурин В.И., Казарьян А.В., Фам Ань Туан. Исследование характеристик микроопто-электромеханического преобразователя угловых скоростей // Вестник Московского авиационного института. 2015. Т.22. № 1. С. 29-37.

3. Бусурин В.И., Звей Ней Зо. Моделирование и компенсация температурной погрешности преобразователя давления на основе оптического туннелирования // Вестник Московского авиационного института. 2012. Т.19. № 1 С. 149-156.

4. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. — М.: Наука, 1983. — 721 с.

5. Duanne Tandeske. Pressure sensors : selection and application. Publisher : CRC Press, USA, 1990, 312 pp.

6. В.И. Бусурин, Ю.Р. Носов. Волоконно — оптические датчики: физические основы, вопросы расчета и примения. М.: Энергоатомиздат, 1990. — 258 с.

7. Проектирование пьезоэлектрических датчиков на основе пространственных электротермоупругих моделей / Под ред. А.Е. Панича. — М.: ТЕХНОСФЕРА, 2014. — 315 с.

Скачать статью