Применение метода молекулярно-лучевой эпитаксии для получения тонких пленок и многослойных структур в космическом пространстве

Космическая техника и технология


Авторы

Ващенко А. В.

Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет), Волоколамское шоссе, 4, Москва, A-80, ГСП-3, 125993, Россия

e-mail: AlekseyVash@yandex.ru

Аннотация

В работе рассматривается возможность применения метода молекулярно-лучевой эпитаксии для получения тонких пленок и многослойных полупроводниковых структур в космическом пространстве. Описываются основные преимущества применения данного метода в космическом пространстве. Также в работе представлен имеющийся на настоящий момент опыт применения данного метода на наземных и космических установках.
Скачать статью

mai.ru — информационный портал Московского авиационного института

© МАИ, 2000—2021

Вход