Применение метода молекулярно-лучевой эпитаксии для получения тонких пленок и многослойных структур в космическом пространстве
Космическая техника и технология
Авторы
e-mail: AlekseyVash@yandex.ru
Аннотация
В работе рассматривается возможность применения метода молекулярно-лучевой эпитаксии для получения тонких пленок и многослойных полупроводниковых структур в космическом пространстве. Описываются основные преимущества применения данного метода в космическом пространстве. Также в работе представлен имеющийся на настоящий момент опыт применения данного метода на наземных и космических установках.Скачать статью