Анализ влияния дестабилизирующих факторов на характеристики преобразователя ускорения на основе оптического туннельного эффекта

Авторы

Бусурин В. И.^*, Коробков В. В.^1**, Казарьян А. В.^2***, Пашков С. П.³, Наинг Т. Л.⁴

1. Нижегородская инжиниринговая компания «Атомэнергопроект», Площадь Свободы, 3, Нижний Новгород, 603006, Россия
2. Центральный научно-исследовательский технологический институт, ЦНИТИ , Техномаш, ул. Ивана Франко, 4, Москва, 121108, Россия
3. Научно-производственное предприятие «Темп» им. Ф. Короткова, ул. Правды, 23, Москва, 127015, Россия
4. Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет), 125993, г. Москва, Волоколамское шоссе, д. 4

*e-mail: vbusurin@mai.ru
**e-mail: vvkor@bk.ru
***e-mail: kazaryan@ya.ru

Аннотация

Рассмотрено влияние дестабилизирующих факторов на характеристики четырехлучевого воспринимающего элемента и преобразователя ускорения на основе оптического туннельного эффекта; проведен анализ погрешностей такого преобразователя ускорения, показывающий возможность построения малогабаритного термостабильного устройства для систем управления и коррекции волновых гироскопов.

Ключевые слова:

преобразователь, ускорения, четырехлучевой элемент, туннелирование, призма, температура, отражательная способность, поперечное ускорение, воздушное демпфирование

Библиографический список

1. Косцов Э.Г. Состояние и перспективы микро- и наноэлектромеханики // Автометрия. 2009. № 3. С. 3 — 52.

2. Удалов А.Ю., Назарова И.Т. Исследование дифференциального волоконно-оптического преобразователя угловых перемещений с помощью оптического тестера // Труды МАИ, 2012, № 51: http://www.mai.ru/science/trudy/published.php?ID=29193

3. Fraden J. Handbook of modern sensors. Physics designs and applications, 3rd edition, Springer-Verlag, New York, 2004, 579p.

4. Бусурин В.И., Наинг Ту Лвин., Бердюгин Н.А., Ахламов П.С. Исследование преобразователя ускорения на основе оптического туннельного // Труды МАИ, 2014, № 72: http://www.mai.ru/science/trudy/published.php?ID=47353

5. Madhukar V. Mechanics of Material, second edition, Michigan Technilogical University, 2014, 578p.

6. Vemuri S., Fedder G.K. and Mukherjee T. «Low ordersqueeze film model for simulation of MEMS devices», in Proc. MSM’00, 2000, 205-208p.

7. Mol L., Rocha L.A, Cretu E., Wolffenbuttel R.F. Squeeze film damping measurements on a parallel-plate MEMS in the free molecular regime, Journal of micromechanics and microengineering, 19-2009, 6p.

Скачать статью